6月12日，沈陽分院以“引領真空技術，支撐科技創(chuàng)新，促進泛半導體產業(yè)發(fā)展”為主題，舉辦第九期“中國科學院沈陽分院科技成果云講堂”，為遼魯兩省集成電路產業(yè)發(fā)展提供科技支撐。
本期云講堂特邀到中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司佟雷、孔祥玲兩位研究員，他們圍繞“真空科研儀器設備簡介”和“面向半導體領域的真空干泵產品的研發(fā)和產業(yè)化”做了專題講座，共有163個異地會場組織收看了現場直播。
集成電路產業(yè)是遼寧、山東兩省重要的戰(zhàn)略性新興產業(yè)，沈陽分院結合自身科技優(yōu)勢，推進產學研協(xié)同創(chuàng)新，推動科技成果與遼魯兩省集成電路產業(yè)鏈深度融合，提升高精尖產品的本地配套能力，促進遼魯兩省制造業(yè)水平整體增強。本期云講堂發(fā)布的真空技術領域科技成果，是集成電路產業(yè)重要的配套技術，為遼魯兩省打造集成電路戰(zhàn)略性新興產業(yè)集群提供了科技支撐。
佟雷作報告
孔祥玲作報告
