遼寧省發(fā)展和改革委員會于2008年6月16日，在沈陽市主持召開了“IC成膜PECVD設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目驗收會。該項目是由中科院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司承擔(dān)的國家高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程項目。驗收委員會認(rèn)真聽取、審閱了項目驗收報告及相關(guān)資料，并對建設(shè)現(xiàn)場進(jìn)行了考察，經(jīng)質(zhì)詢和討論，一致同意該項目通過驗收。
驗收意見中指出：沈陽科儀公司完成了國家發(fā)展改革委復(fù)函中所確定的建設(shè)內(nèi)容。在6英寸PECVD設(shè)備控制系統(tǒng)軟硬件設(shè)計和零部件國產(chǎn)化方面實現(xiàn)了突破，零部件國產(chǎn)化率達(dá)到70%以上，整機(jī)性能達(dá)到或超過國際同類產(chǎn)品水平。產(chǎn)品填補(bǔ)了國內(nèi)空白，實現(xiàn)了替代進(jìn)口。
會議主持人遼寧省發(fā)改委高技術(shù)處副處長王幼學(xué)表示，沈陽科儀公司已承擔(dān)多項國家發(fā)改委IC裝備相關(guān)項目，完成的非常好，均已順利通過驗收。通過項目實施，充分展現(xiàn)了沈陽科儀公司經(jīng)營、管理的嚴(yán)謹(jǐn)與規(guī)范，也可以看出公司的綜合實力和美好的發(fā)展前景。目前，沈陽市渾南新區(qū)正在建設(shè)IC裝備制造產(chǎn)業(yè)基地，沈陽科儀公司是其中的骨干企業(yè)，希望公司加快發(fā)展，為遼沈地區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展作出更大貢獻(xiàn)。（沈陽科儀公司供稿）
