由沈陽市副市長鄒大挺和渾南新區(qū)管委會主任黃凱帶隊(duì)，以沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)園為主體的沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)基地展團(tuán)，組織10余家企業(yè)于2009年3月17至19日參加了在上海新國際博覽中心舉辦的“2009中國國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料展覽會暨研討會”（SEMICON China2009）。
該展會由SEMI（國際半導(dǎo)體設(shè)備及材料協(xié)會）與中國電子商會共同主辦，是全球IC行業(yè)最重要的三大專業(yè)展會之一，是目前中國半導(dǎo)體設(shè)備、材料、制造和服務(wù)領(lǐng)域發(fā)布最新技術(shù)的重要平臺。此次展會囊括了當(dāng)今世界上半導(dǎo)體制造領(lǐng)域主要的設(shè)備及材料廠商，展示了整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的全部產(chǎn)品。
由沈陽自動化所投資公司AMT公司發(fā)起承建的沈陽IC 裝備產(chǎn)業(yè)基地在沈陽市政府的支持下，取得了長足發(fā)展，并在超真空系統(tǒng)、PECVD、勻膠顯影設(shè)備、真空機(jī)械手、高精度零部件加工等領(lǐng)域取得了重大的突破。在本次展會上沈陽展團(tuán)是參展的四個高新區(qū)中（揚(yáng)州、武漢、大連）唯一以企業(yè)為主體，攜帶產(chǎn)品參展的展團(tuán)。作為本次展會國內(nèi)唯一的由地方政府指導(dǎo)、產(chǎn)業(yè)集群企業(yè)為主體的展團(tuán)，引起來自政府、業(yè)內(nèi)展商和專業(yè)人士的廣泛關(guān)注。（沈陽自動化所供稿）
