10月21日，上海證券交易所科創(chuàng)板上市委員會召開了2019年第35次審議會議，根據(jù)審議結(jié)果顯示，中國科學(xué)院沈陽自動化研究所投資參股企業(yè)——沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡稱“芯源公司”）首發(fā)獲通過，是中國科學(xué)院第一家科創(chuàng)板首發(fā)獲通過的公司。這意味著在不久的將來沈陽自動化所又一家投資參股企業(yè)將成為上市企業(yè)。
芯源公司成立于2002年，在17年的發(fā)展歷程中，秉承“市場引領(lǐng)，技術(shù)為本”的宗旨，不斷在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域探索新的高度。目前，芯源公司擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，取得300余項核心技術(shù)專利，其自主開發(fā)的單片勻膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、清洗機(jī)等設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、先進(jìn)封裝、MEMS、LED等領(lǐng)域。研制的12英寸TRACK系統(tǒng)整機(jī)，已經(jīng)在12寸主流生產(chǎn)線應(yīng)用，擁有近百家業(yè)內(nèi)客戶，在LED勻膠顯影設(shè)備領(lǐng)域占領(lǐng)國內(nèi)市場份額超過60%。（科技處）
